日前國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備公司至純科技在互動平臺表示，目前至純科技28納米節(jié)點全部濕法工藝設(shè)備已認證完畢。
至純科技表示，國內(nèi)目前有三家在濕法工藝設(shè)備端提供中高階濕法制程設(shè)備，分別是至純科技、北方華創(chuàng)和盛美，國內(nèi)廠商的市場占比在逐年上升中。
除了28nm工藝節(jié)點之外，上海證券報告中指出，至純科技14nm及7nm工藝預(yù)計2022年可供客戶驗證，客戶包括中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華為、臺灣力晶等行業(yè)領(lǐng)先者。
2020年濕法設(shè)備出貨量超過30臺，新增訂單5.3億元，增長211.8%。
官網(wǎng)介紹，至純科技成立于2000年，是一家在上交所上市的高新技術(shù)企業(yè)，證券代碼603690.SH。
公司坐落于上海紫竹這個國家級科學園區(qū)內(nèi)，注冊資本2.08億元，致力于為高端先進制造業(yè)企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的解決方案。
系統(tǒng)解決方案涵蓋了提供整個系統(tǒng)的設(shè)計、選型、制造、安裝、測試、調(diào)試和系統(tǒng)托管服務(wù)。 至純提供的系統(tǒng)和專業(yè)服務(wù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物醫(yī)藥、光伏、光纖、TFT-LCD、LED等領(lǐng)域。
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